Toshiba заявляет о том что создала высокочувствительный фоторезист для литографического процесса с применением сверхглубокого ультрафиолета EUV (extreme ultraviolet) при производстве полупроводников. Преимущества материала обоснованы на протяжении опробований с применением 20-нм техпроцесса.
Достижение принципиально важно вследствие того что вместе с повышением плотности размещения полупроводниковых элементов, в то время, когда литографические разработки подходят к 20-нм масштабам, простые полимерные фоторезисты уже не справляются с возложенными на них задачами. Размеры их связи и молекул между молекулярными цепочками являются ограничителем. К тому же, сегодняшнее оборудование для аргон-фторидной лазерной экспозиции не может обеспечить требуемых разрешений.
Ответ – в переходе на EUV-фоторезист и литографию, основанный на низкомолекулярном веществе.
При нанесении рисунка полупроводниковых цепей на подложку необходимы хорошие и негативные фоторезисты, что разрешает сохранить точность структуры. При хорошем экспонировании подвергшиеся облучению участки удаляются с пластины. При негативном – удаляются участки, не попавшие под излучение.
Низкомолекулярный состав Toshiba взяла из производного соединения труксена (truxene), что более стоек, чем полимеры. По окончании успешного получения тестового рисунка на подложке в 20-нм масштабе компания собирается продолжить совершенствование молекулярного резиста и его подготовку к выпуску 20-нм высокоинтегрированных LSI-компонентов. В соответствии с Интернациональному графику полупроводниковых разработок (International Technology Roadmap for Semiconductors, ITRS), широкомасштабное производство этого поколения устройств начнётся в 2013 году.
Размещено в NanoWeek,
- Прошлая статья: Солнечные ячейки-оригами
- Следующая статья: Cупераккумулятор на ионной жидкости
Пленочный фоторезист Два способа (пленка и бумага )изготовление печатных плат в домашних условиях
Интересные записи на сайте:
- Сергей шойгу обсудил проблемы развития оэз в дубне
- Как с помощью искусственных нейронных сетей найти курильщика по кардиограмме (и зачем это нужно)
- Рвк и рави представили обзор российского рынка инвестиций
- Журналисты, которые никогда не спят
- Ядерный реактор у себя в сарае
Подобранные по важим запросам, статьи по теме:
-
Роснано создаст производство систем охлаждения для лазеров
Продукцией проекта являются устройства охлаждения, генерации и термостатирования. В частности, речь заходит о производстве совокупностей охлаждения для…
-
Ученые создали микрощипцы для медицины
При взятии образцов ткани для медицинской диагностики, доктора ограничены громоздкими и неотёсанными щипцами. Но посредством недавних удачно совершённых…
-
Российские учёные создали магнитную биокерамику для лечения рака
Физики из Харьковского национального университета им. В. Н. Каразина и Физтех университета им. А. Ф. Иоффе РАН создали новый класс магнитной керамики для…
-
Ученые создали графеновый индикатор трещин для самолетов и мостов
Исследователи из института изучений полимеров Лейбница создали графеновое покрытие для инфраструктурных объектов. При происхождении трещин либо разломов…
-
«Сколково» создаст венчурные фонды для инвестирования в проекты
«Сколково» формирует венчурные фонды для расширения финансирования инновационных проектов и требует правительство об отмене требования об необходимой…
-
Может ли бак создать губительную для земли черную дыру?
Всегда, в то время, когда мы раздвигаем границы знаний, этому сопутствует перспектива и риск приза. Рисков большое количество: не отыскать ничего нового,…